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高端装备精密直线电机系统
发表时间： 2025-04-24 10:14内容分类 ：项目信息浏览次数：76
【成果简介】
为满足我国光刻机、高档数控机床和智能生产线等高端制造装备国产化的迫切需要，重点研究精密直线电机系统关键基础理论与应用技术，攻克了精密直线电机系统中电机精细化设计、高品质推力调控驱动、强抗扰高精度运动控制策略等关键技术，取得了系列原创性成果，研制出高端装备精密直线电机系统。
【技术指标】
研制长行程宏动直线电机最大峰值推力>1350N、定位力<1%、表面温升<0.5℃，最大加速度>4g，最大速度>2m/s，短行程微动直线电机推力规格分布为15N至430N，表面温度控制在22±1℃，定位精度1.3μm、重复定位精度1.13μm。
【应用前景】
可应用于光刻机、晶圆缺陷检测装备、划片机等集成电路制造装备，以及高档数控机床、智能直线/平面柔性传输系统等高端设备。
【联系方式】
陈女士0451-58894187
登记托管: 0451-58894184
挂牌融资: 0451-58894186
资金融通: 0451-58894185
技术交易: 0451-58894187
